для размещения заказа - mitutoyo@mitutoyo-tools.ru
Принцип Абсолютной (Absolute) линейной шкалы (пример: AT300, 500-S/H)
AT500
MADE IN JAPAN
Период (Интерполяция) Разрешение
сигнала
3768мм (512) 7.36мм
Электростатический ёмкостный тип 58.88мм (512) 0.115мм
0.92мм (512) Примерно 1.8мкм После подачи питания на линейную шкалу, производится
считывание позиций с трех вспомогательных шкал
Фотоэлектронный тип емкостного типа (грубой (COA), средней (MED) и тонкой
(FIN)) и с одной фотоэлектрической вспомогательной
20мкм (400) 0.05мкм шкалы (оптической). Эти вспомогательные шкалы
(4096) 0.005мкм используют такую комбинацию шагов и так расположены
друг относительно друга, что показания в какой-либо
одной позиции формируют уникальный набор и позволяют
микропроцессору вычислить позицию считывающей
головки на шкале с разрешением 0.05мкм (0.005мкм).
Определение точности линейной шкалы
Точность определения положения (1) Несбалансированное определение точности шкалы –
максимальная погрешность минус минимальная погрешность
Точность линейной шкалы определяется путем сравнения
Данный метод просто определяет разницу между максимальной и
позиционных значений, показанных на линейной шкале с минимальной погрешностью с диаграммы точности, как показано
ниже. Погрешность указывается в форме: E = (+ L) мкм, где
соответствующими значениями, полученными на машине L -эффективный диапазон измерения (мм), и и - факторы,
указанные для каждой модели. Например, если конкретный
лазерного измерения длины с регулярным интервалом, с тип шкалы имеет характеристику точности (3 + 3L/1000) мкм и
диапазон эффективного измерения 1000мм, то E=6 мкм.
использованием системы проверки точности, как показано
на рисунке ниже. Так как температура окружающей среды
при проверке 20С, точность шкалы применяется только при
этой температуре окружающей среды. Проверка при другой
температуре может проводиться в соответствии с внутренними Погрешность шкалы в любой точке относительно начала диапазона
стандартами. Ошибка Максимальная разница
0 в погрешности шкалы: Е (мкм)
Счетчик машины лазерного Компьютер Цифровой счетчик Эффективный диапазон позиционирования
измерения длины X Измеряемая точка
Интерферометр Оптическая ось Вершина куба (2) Сбалансированное определение точности шкалы –
лазерного луча Крепление плюс/минус средняя погрешность
Источник лазера
Шкала Данный способ определяет максимальную погрешность
Подвижный стол относительно средней погрешности от диаграммы точности.
Погрешность указывается в форме: e = ±E/2(мкм). Этот метод в
основном используется в спецификациях модифицированных
шкалах отдельного типа.
Вид системы Ошибка Средняя погрешность Максимальная погрешноть
проверки точности 0 средней погрешности
Точность шкалы в каждой точке определяется в виде величины Эффективный диапазон позиционирования X Измеренная точка
погрешности, которая рассчитывается по следующей формуле:
Линейная шкала определяет перемещения, основанные на делении
Погрешность= Значение, показанное на линейной шкале постоянным шагом. Двухфазные сигналы синусоиды с тем же шагом,
соответствующее значение системы что и в градуировка, получаются путем детектирования градуировки.
проверки лазером Интерполяции этих сигналов в электрической цепи позволяет считать
значения меньшие, чем шаг градуировки, создавая импульсные
Схема, на которой погрешностьвыводится в каждойточке в рамках сигналы, которые соответствуют нужному разрешению. Например,
диапазона действительного позиционирования, называется если шаг градуировки 20 мкм, интерполированные значения можно
диаграммой точности. Существует два способа, используемых создавать с разрешением 1мкм.
для определения точности шкалы, несбалансированная и Точность этой обработки не безошибочна и называется точность
сбалансированная, описанные ниже. интерполяции. Общие технические характеристики позиционной
точности линейной шкалы зависит как от погрешности шага шкалы,
так и от точности интерполяции.
448 Все продукты предназначены для продажи коммерческим клиентам. Иллюстрации продуктов без каких-либо обязательств. Описания
продукции, в частности технические спецификации, соответствуют действительным только при предварительном подтверждении.
mitutoyo@mitutoyo-tools.ru
www.mitutoyo-tools.ru